![Bild](https://www.meinhoergeraet.de/uploads/meinhoergeraet_de/images/mems-mikrofonie.jpg)
Die Anwendung der MEMS-Technik (Microelectromechanical System) bei Mikrofonen hat zur Entwicklung sehr kleiner und sehr leistungsfähiger Mikrofone geführt. In MEMS-Mikrofonen kommen Akustiksensoren zum Einsatz, die mit Silizium-Wafern und weitreichend automatisierten Prozessen auf Halbleiter-Produktionslinien hergestellt werden. Auf einen Silizium-Wafer werden zunächst Schichten aus unterschiedlichen Materialien abgeschieden. Anschließend wird nicht benötigtes Material durch Ätzen entfernt.
Auf diese Weise entstehen eine bewegliche Membran und eine starre Rückwand über einem Hohlraum im Wafer. Bei der Rückwand des Sensors handelt es sich um eine starre Struktur, die dank ihrer Perforation leicht von Luft durchströmt werden kann. Die Membran dagegen ist eine zwar dünne, aber massive Struktur, die sich unter dem Einfluss der von den Schallwellen verursachten Luftdruckänderungen durchbiegt.
Während sich die Membran durchbiegt, bewegt sich die dickere Rückwand nicht, da die Luft durch ihre Öffnungen strömen kann. Die Bewegungen der Membran haben zur Folge, dass sich die Kapazität zwischen ihr und der Rückwand ändert. Diese Kapazitätsänderung wird von dem in das Mikrofon eingebauten ASIC in ein elektrisches digitales/analoges Signal verwandelt.
In der Vergangenheit war der Rauschabstand und der Frequensverlauf noch ein Problem, aber ein neues MEMS das mir in ca. 4 Wochen geliefert wird, besitzt da schon echt gute HiFi Werte:
Einsatztemperaturen (Aufnahmebereitschaft): -40 bis +85 Grad, Kugelcharakter
• Ultra-High 75 dBA SNR
• −32 dBV Differential Sensitivity, −38 dBV SingleEnded Sensitivity
• ±1.5 dB Sensitivity Tolerance
• 4.85 × 3.82 × 3.5 mm Surface-Mount Package
• Non-Inverted Signal Output
• Extended Frequency Response from 20 Hz to 20 kHz
• Enhanced RF Performance
• 295 µA Current Consumption
• 125 dB SPL Acoustic Overload Point
• −77 dBV PSR
Ich glaube, diese MEMS werden immer besser (keine träge Membranmasse) und würden auch beim Film eine gute Figur machen, als völlig unsichtbares Mikrofon.